硅具有散熱性好、強度高、價格適中、純度高、耐腐蝕等優點。隨著微電子技術的發展，硅材料的加工技術日趨成熟。硅材料首先用于生產這種產品。由于其良好的光潔度和成熟的加工工藝，可用于微泵、微閥、模具等器件。到目前為止，玻璃已經廣泛應用于該芯片的生產中，采用光刻和蝕刻技術可以將微通道網絡化在玻璃材料上，其優點是具有一定的強度，散熱性、透光性和絕緣性都比較好，非常適合于通常的樣品分析。

　　微流控芯片采用類似半導體的MEMS技術在芯片上構建微流控系統。將實驗和分析過程轉移到由互連通道和液室組成的芯片結構上。在裝載生物樣品和反應液后，使用微機械泵。

　　電液泵和電滲流驅動緩沖液在芯片內流動形成微流道，在芯片上進行一個或多個連續反應。激光誘導熒光（LIF）、電化學和化學檢測系統以及與質譜聯用的多種檢測方法已被應用于流控芯片中，以實現對樣品的快速、準確和高通量分析。

　　微反應器通常用于芯片實驗室的生化反應，如毛細管電泳、聚合酶鏈反應、酶反應和DNA雜交等。其中，電壓驅動毛細管電泳易于在微流控芯片上實現，已成為發展快的技術。在芯片上刻蝕毛細管通道，樣品溶液在電滲流的作用下在通道中游動，完成樣品的檢測和分析。如果在芯片上構建毛細管陣列，可以在幾分鐘內完成數百個樣品的并行分析。